●미량의 반도체재료 가스를 정확히 검지：독자개발한 열선형 반도체식 센서(특허)로 미량의 반도체 재료 가스를 정확히 검지할 뿐 아니라 장기적인 사용에도 감도가 떨어지지 아니함
●소형으로 가볍고 편리한 조작성과 자동흡입식：좁은 장소, 어두운 곳에서도 탐지하기 쉽고, 초기 안정시간이 짧아 작업시간을 단축할 수 있으며 가볍고 휴대가 간편함.
●액검사(비누액 등) 보다 측정이 쉽고 정확한 검사：미세한 가스 누설을 신속, 정확히 감지하여 액검사(비누액등)와 같이 숙련도나 현장의 조건에 무관하게 사용가능
●램프, 부저 방식으로 확인：미세한 누설일때는 부저가 느리게, 누설이 많을 때는 단속음이 빠르게 연속음으로 알림

MODEL

XP-703D

대상가스

반도체재료가스(Arsine, Phosphine, Diborane 등)

검지원리

열선형 반도체식

채집방식

자동 흡입식

검지가능누출량
(afm.cc/sec)

Arsine

AsH3

1.0×10-6

Phosphine

PH3

1.5×10-6

Diborane

B2H6

0.5×10-6

Silane

SiH4

2.5×10-6 

Hydrogen

H2

5×10-6

검지가능농도(ppm)

          0.2               0.3                     0.1                   0.5                    1.0  

응답시간

10초

사용온도범위

0~40℃

전원

DC 6V(A4건전지×4개)

전지사용시간

약 3시간

크기·무게

68×155×32mm, 약 400g

표준부속품

레자케이스, 드레인휠타, 휠터엘레멘트,
점검가스, 표준 부착물

Option

이어폰, Ni-Cd Battery Charger