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●반도체 재료가스를 정밀하게 검지：신뢰성이 매우 높은
정전위 전해식 센서사용, 유기용제(에탄올, 토루엔, 키시린 등)에 의한 영향이 적고 각종 반도체 재료 가스를
정도높게 측정
●보기 편리한 디지털 표시：디지털 표시창이 크므로 읽기에 편리
●자동 흡입식：독자적인
마이크로 에어 펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편
●가스 유입관을 테프론 호스로 사용：유입관 및
흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에 의한 영향을 받지
않음.
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- 규격
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MODEL |
대상가스 |
최대범위(F.S) |
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XPS-7NH |
NH3(암모니아) |
100ppm |
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XPS-7SH |
Sih4(실레인) |
02ppm |
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XPS-7DC |
SiH2Cl2(디클로로실란) |
25ppm |
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XPS-7AS |
AsH3(아르신) |
250ppb |
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XPS-7PH |
pH3(인화수소) |
1ppm |
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XPS-7BH |
B2H6(디보란) |
500ppb |
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XPS-7SE |
H2Se(하이트로젠셀레나이드) |
250ppb |
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XPS-7GH |
GeH4(사수소화게르마늄) |
1ppm |
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XPS-7CL |
Cl(염소) |
5ppm |
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XPS-7CF |
ClF3(불소화염소) |
1ppm |
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XPS-7HC |
HCL(염화수소) |
25ppm |
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XPS-7HF |
HF(불화수소) |
10ppm |
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XPS-7HB |
HBr(브롬화수소) |
10ppm |
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XPS-7NO |
NO(일산화질소) |
100ppm |
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XPS-7HS |
H2S(황화수소) |
50ppm |
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XPS-7CO |
CO(일산화탄소) |
250ppm |
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XPS-7DS |
Si2H6(디실란) |
25ppm |
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XPS-7F2 |
F2(불소) |
5ppm |
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XPS-7OZ |
O3(오존) |
1ppm |
※ XPS-7시리즈 공통규격
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검지원리 |
정전위전해식 |
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채집방식 |
자동흡입식 |
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지시정도 |
±10% ±1 Digit(F.S) |
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응답시간 |
60%응답 40초 |
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사용온도범위 |
0~40℃ |
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전원 |
DC
9V (A4건전지×6개) |
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전시사용시간 |
약
20시간 |
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크기, 무게 |
86×140×175mm, 약
2.5kg |
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표준
부속품 |
레자케이스, 건전지6개, 휠터부착 흡입파이프,
가스도입관 | | |
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